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ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀

  • 更新時(shí)間:2020-12-16
  • 瀏覽次數(shù):3467

ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀
PTI 250 是一套穩(wěn)定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統(tǒng)的3維表面形態(tài)面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。

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ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀

PTI 250 是一套穩(wěn)定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統(tǒng)的3維表面形態(tài)面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。這是一套小型干涉儀系統(tǒng),其與ZYGO公司所制造的干涉儀(也是世界標(biāo)準(zhǔn))一致。PTI 250 是純正的ZYGO干涉儀,同時(shí)還提供易于使用和可靠的測量方法且有很好的投資報(bào)酬率,極適合高產(chǎn)量生產(chǎn)控制,同時(shí)也可作為科研人員研發(fā)使用。

 

在使用時(shí)有如下特性

      •   25mm孔徑干涉儀附帶涵蓋許多應(yīng)用范圍的系列光學(xué)配件
      •   操作方便且快速的干涉條紋對準(zhǔn)系統(tǒng)手動(dòng)孔徑調(diào)焦降低邊緣衍射并加強(qiáng)性能
      •   Z軸手動(dòng)粗調(diào)300mm與微調(diào)30mm直接與世界標(biāo)準(zhǔn)的ZYGO GPI 及VeriFire 干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)
      •   配有高精度、高可靠度且易于使用的溫控半導(dǎo)體激光器
      •   可選用垂直、水平或向上方式的測試座提供未來產(chǎn)品升級需要與附件使用
      •   根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250V

 

美國ZYGO PTI 250激光干涉儀

圖示:美國ZYGO PTI 250激光干涉儀

選型規(guī)格

PTI 250RS

      •   具備研究用干涉儀所需要的高功能性及靈活性。 
      •   在2秒內(nèi),可產(chǎn)生多于300,000個(gè)像素的定量三維圖。 
      •   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      •   采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法,在不穩(wěn)定及有振動(dòng)的環(huán)境下仍能測量
      •   采用標(biāo)準(zhǔn)的Zygo MetroPro界面――干涉檢測的標(biāo)準(zhǔn)。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250F

      •   經(jīng)濟(jì)實(shí)用的生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。 
      •   采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法可在干擾較大的生產(chǎn)環(huán)境下進(jìn)行可靠測量。 
      •   可產(chǎn)生多于300,000 個(gè)像素的定量表面形態(tài)圖。 
      •   采用FlashPhase作位相測量。 
      •   采用標(biāo)準(zhǔn)的Zygo MetroPro 軟件,多語言支持的操作界面。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250P

      •   生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。 
      •   可產(chǎn)生多于300,000個(gè)像素的定量表面形態(tài)圖。 
      •   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      •   采用MetroPro軟件,多語言支持的操作界面。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250V

      •   生產(chǎn)用快速檢測干涉儀。 
      •   目測條紋方式,檢測產(chǎn)品。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。 
      •   可升級到PTI 250F 和PTI 250P 。

主要技術(shù)參數(shù)

儀器類型 具有相位測量功能的小型Fizeau 型生產(chǎn)用干涉儀。
數(shù)據(jù)采集 FlashPhaseeTM
應(yīng)用范圍小球面和平面檢測。表面狀態(tài)的定量測量,傳輸波陣面測量及半徑測量。測量方向 垂直向下測量。
測試光源 Class I級 655 nm 半導(dǎo)體激光
測試光直徑 25 mm
CCD采集 640 x 480 
像素調(diào)焦范圍 ±250 mm 手動(dòng)可調(diào)
調(diào)準(zhǔn)方式 配合集成型LCD雙光點(diǎn)對準(zhǔn)
觀察方式 計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)圖像顯示
計(jì)算機(jī) 高性能個(gè)人電腦,硬盤、 CD-ROM 和17"顯示器
軟件Microsoft Windows XP專業(yè)版下的ZYGOPTI 250 軟件
電源 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
尺寸與重量尺寸(高x 寬x長) 686 x 203 x 356 (mm)
重量 33 kg
性能參數(shù)測量不確定度1 

平面測試: λ/20

球面測試: λ/10RMS 

重復(fù)性2λ/2000 (1σ)RMS 
精度3 λ/500 (1σ)
環(huán)境要求溫度 15°C - 35°C (60°F - 95°F)
溫差變化 <1.0°C / 15 min
濕度相對濕度10% - 95% , 無凝結(jié)
防震 無需特別防震
語言 英語,德語,日語,簡體中文,繁體中文

 

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