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首頁 > 產品展示 > 美國zygo干涉儀 > 美國ZYGO干涉儀 > VeriFire干涉儀ZYGO新一代激光干涉儀

ZYGO新一代激光干涉儀

  • 更新時間:2020-09-11
  • 瀏覽次數:5941

ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀
繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點,融合了機械相移技術、創(chuàng)造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等,是ZYGO技術的集中體現。 所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用。

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產地類別進口應用領域電子,交通,冶金,航天,汽車

ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀,繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點,融合了機械相移技術、創(chuàng)造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等,是ZYGO技術的集中體現。 所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設計延續(xù)了zYG0在面形計量行業(yè)*與倫比的經驗。共光路的設計結合ZYG0**的采集算法,和功能強大的批軟件實現了高精度的表面計量與良好的分析能力。

關鍵性能:

?    斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測量
?    友好的圖形用戶界面,易于生產線上操作
?    創(chuàng)新箅法使其在振動環(huán)境中也能實現準確計量
?    利用良好的過程控制技術,快速提取測試中不變的信息
?    每一幀數據都將振動信息凍結

所有 Verifire™ 系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列于下表:

型號:XPZQPZATZMSTAsphere
核心技術:相位移式干涉儀 (PSI)傅立葉轉換相位移
式干涉儀
**非球面演算
法相位移式干涉儀
光源:點光源點光源和 Ring of Fire™環(huán)形光源(波紋抑制)
變焦:自動 1-6X數位控制 1-5X
聚焦:自動數控步進焦距控制
解析度:640 × 480 圖元1k × 1k 圖元
幀速:75 Hz100 Hz43 Hz
球面曲率半徑的測量

 

集成大量常用測量程序模塊

?    多個樣品的同時分析
?    球面曲率半徑的測量
?    角錐和棱鏡測量
?    雙球面和三平板的測量
?    相對角度和楔板楔角的測量
?    材料均勻性的測量
?    傅立葉變換移相干涉測量(MST型)
?    動態(tài)設備如MEMS的測量
?    薄膜上下層形貌和厚度的測量
?    金屬零件的測量

 

 

 

簡單的定制過程,用戶可調

?    設定數控采集和數據處理過程中的各種參數
?    選擇需要顯示的圖像曲線和數據結果
?    幾百種符合工業(yè)標準的數據可供選擇
?    自定義屏幕上各種窗口的編排
?    保存和輸出每個樣品參數測量.分析設定數據結果
?    適用于工業(yè)化生產的軟件
?    質量控制--自動顯示”合格/不合格”
?    編程功能--儀器自動按用戶所編程序模式運行.產生相應的信息
?    根據用戶定義的計算公式,產生相應的結果
?    實時屏現SPC
?    自動數據保存和統(tǒng)計
?    應用程序”鎖定“功能

 

選擇需要顯示的圖像曲線和數據結果

 

強大的數據分析功能

?    數據濾波和剪輯
?    像差計算
?    PSF和MTF圖
?    斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能
?    ASCII和"XYZ"數據格式
?    Zernike分析
?    數據和圖像加減、縮放、旋轉和轉換
?    ZEMAX、CodeV和0SL0數據格式

 

 

系統(tǒng)

測量功能精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前
測量技術QPSI快速機械相移模式和傳統(tǒng)的機械相移干涉模式(PSI)
校準系統(tǒng)快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)
測量光束直徑4″(102mm)或6″(152mm)
對準視場范圍FOV4″:±3°;6″:±2°;
光學中心線4.25″(108mm)
激光光源大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,III*
波長633 nm
頻率穩(wěn)定度< 0.0001 nm
相干長度>100m
成像分辨率1024 x 1024像素
幀速100Hz(PSI)
數據采集時間130-300ms
數據模式8位
放大電控1-5X
偏振接近圓偏振(1.2:1或者更好)
光曈調焦范圍4″:±2.5m;6″:±5.5m;
計算機和軟件高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安裝構造水平臥式或垂直立式
附件詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件,OMP-0463
尺寸(長x寬x高)4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
電源100-240VAC,50/60Hz

工作環(huán)境:

溫度15°C - 30°C (59°F - 86°F)
溫度變化率<1.0°C/15min
濕度相對濕度5% - 95% , 無凝結
隔振QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環(huán)境下進行測量;機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。

性能參數:

RMS重復性(3)< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重復性(4)< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5)< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

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